標準組件
高品質(zhì)的鏡面基板，玻璃和石英玻璃
具有公差的PR涂層
Ø對于R = 10 ... 30％，±2％
Ø對于R = 30 ... 75％，±±3％
Ø對于R = 75 ... 90％，±±2％
Øo±1％，R> 90％
Ø•開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件
圖2：不同AOI（a）下308nm可變衰減器的透射光譜和308nm處透射率與AOI（b）的關(guān)系。
在AOI = 0°時，透射率從T> 85％變化到在AOI = 45°時T = 2±1％（非偏振光）
耐氟腔光學(xué)
圖3：氟化KrF激光鏡（a）和R = 50±3％的輸出耦合器（b）的反射光譜
•氟化物涂層和CaF2基材，對氟和氯具有較高的穩(wěn)定性
•激光鏡（在248nm和308nm處為> 98％，在351nm下R> 96％）
•高品質(zhì)的鏡面基板，窗戶和CaF2透鏡（248nm準分子級或紫外線質(zhì)量，肖特公司）
•具有公差的PR涂層
對于R = 10 ... 30％，±2％
對于R = 30 ... 75％，o±3％
o±2％，R = 75 ...> 90％
KrF，XeCl和XeF激光組件的技術(shù)參數(shù)
Coating | Materials | Reflectance | Damage threshold* | Lifetime test |
HR (0°, 248nm) | oxides | > 99% | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1 |
|
HR (45°, 248nm) | oxides | > 99% (random pol.) | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns |
|
HR (0°, 248nm) | fluorides | R > 98% |
| 2x108 pulses** |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R = 50 ± 3% |
| 2x108 pulses** |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R < 0.25% |
| 2x108 pulses** |
HR (0°, 308nm) | fluorides | R > 98% |
| 2x108 pulses*** |
HR (0°, 351nm) | fluorides | R > 96% |
| 2x108 pulses*** |
PR (0°, 351nm) | fluorides | R = 25 ± 3% |
| 2x108 pulses*** |
*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進行了測量
**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
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